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Techniques de fabrication des microsystèmes 1 : structures et microsystèmes électromécaniques en couches minces

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Éditeur :

Hermés science


Collection :

Traité EGEM

Paru le : 2004-05-12

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Description
Le premier volume présente les procédés de fabrication fondés sur la photolithographie, et qui permettent de réaliser les microstructures en couches minces utilisées pour fabriquer des micromoteurs, des microaccéléromètres ou encore des matrices de micromiroirs. La photolithographie, ainsi que les méthodes de dépôt, de gravure, et de caractérisation de couches minces sont décrites dans ce volume. Des exemples de procédés et de réalisations permettront aux étudiants et aux ingénieurs de se familiariser avec les possibilités, mais aussi d'appréhender les limites de ces technologies.
Pages
326 pages
Collection
Traité EGEM
Parution
2004-05-12
Marque
Hermés science
EAN papier
9782746208179
EAN PDF SANS DRM
9782746227071
Informations sur l'ebook
Prix
110,78 €

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