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Nanopositioning Technologies

Fundamentals and Applications de

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Éditeur :

Springer


Paru le : 2015-12-22

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Description
This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices, sensing and actuation technologies and control methods for nanopositioning. This is an ideal book for mechanical and electrical engineering students and researchers; micro and nanotechnology researchers and graduate students; as well as those working in the precision instrumentation or semiconductor industries.
Pages
409 pages
Collection
n.c
Parution
2015-12-22
Marque
Springer
EAN papier
9783319238524
EAN PDF
9783319238531
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
4
Nombre pages imprimables
40
Taille du fichier
18207 Ko
Prix
94,94 €
EAN EPUB
9783319238531
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
4
Nombre pages imprimables
40
Taille du fichier
10312 Ko
Prix
94,94 €

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